概要

高純度アルミニウムを円盤状または円柱状に成形した材料で、溶解して蒸着やスパッタリングのターゲット材として使用されます。
均一な形状と密度により、加熱時の挙動が安定し、膜厚や成膜品質の制御がしやすいのが特長です。
サイズや厚みは用途に応じて調整可能で、真空環境下での使用にも適しています。
表面の酸化を防ぐため、クリーン包装やアルゴン雰囲気での保管が推奨されます。